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涩谷工业(SHIBUYA)共晶机FDB210,VCSEL、LD、PD、COC/COS 等光器件热压共晶解决方案

发表时间: 2026-11-11 15:55:24

作者: 泰克半导体装备(深圳)有限公司

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涩谷 FDB210 的官方定义是Thermo-Compression(TC)bonding system,核心应用场景是光模块组装中的激光二极管键合、sub-mount 键合和硅光键合。这意味着它解决的首先是在局部脉冲加热与精密力控下完成单颗/少颗芯片的共晶贴装。

涩谷 FDB210 的官方定义是Thermo-Compression(TC)bonding system,核心应用场景是光模块组装中的激光二极管键合、sub-mount 键合和硅光键合。这意味着它解决的首先是在局部脉冲加热与精密力控下完成单颗/少颗芯片的共晶贴装。

一、FDB210规格参数

二、FDB210主要应用场景为光模块COC/COS,它的工艺价值更多体现在加热与力控架构上:


  • 脉冲双路加热使焊头与贴片工作台可以独立编程温度曲线,最高各至 450℃。对于金锡 AuSn 共晶,这意味着芯片侧和基板侧不必强行对齐同一条热历史——可以在基板预热抑制热冲击的同时,让焊头侧快速越过焊料熔点,缩短高温停留时间。
  • 力反馈闭环配合参数序列控制,允许对载荷、温度和各阶段时序进行可编程定义,而非只设一个恒定的“焊接压力”。在 0.1—8.8 N 的宽载荷范围内,小芯片低至 0.1 N 的接触力仍能保持可控,这对微小光芯片避免压裂具有实际意义。
  • 加热机构的使用和环境温度变化会使机架产生热胀冷缩,相机“看起来固定”,实际位置随时间漂移。自动校准抵消的是这种热致时漂,而不是单纯提高静态定位精度。在需要长时间连续运行的光模块量产中,这比标称精度本身更影响良率稳定性。FDB210共晶机自动校准机构,它用顶置相机与底置相机对同一目标标记做图案匹配,检测各自的位置偏差,并在贴装对准时反馈补偿,保证了稳定性。


三、FDB210应用场景

FDB210 的对位场景是光通信器件的中高精度量产共晶。 产品清单覆盖 VCSEL、激光二极管、光电二极管、光模块,工艺路径明确对应 COC(chip-on-carrier)和 COS(chip-on-submount)。支持共晶键合与树脂键合两种工艺。倒装芯片能力 也可选择FDB210P ,FDB210/211 系列 Substrate&chip 兼容。

四、涩谷 FDB210 的解决方案

FDB210方案定位为面向光通信器件 COC/COS 的 TC 热压共晶贴装机,以 ±1.5 μm 精度、脉冲双路加热(各至 450℃)、力反馈闭环和自动热漂校准为核心能力。如果您有亚微米级且芯片尺寸偏大的需求,也可选择FDB210P共晶机。


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