探针台概况 |
探针台是一种很专业的仪器,它主要的功能就是针对半导体元件及封装进行检测。通过探针台配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻和电容电压特性曲线等参数检测。用于对芯片进行科研分析,抽查检测等,可以保证这些半导体元件的质量,缩短研发时间和器件制作工艺的成本,芯片检测在芯片制造过程中是非常重要的一环。
随着半导体市场的逐步开放和增长,作为半导体检测的必备仪器——探针台的市场也在逐年增长和扩大中,不论是海外品牌还是国产品牌,近几年在半导体检测仪器市场中的规模都在逐年扩大。
从全球的探针台市场来看,目前还是以国外的企业为主导,他们占据了大部分的探针台市场。近乎70%的市场份额都被国外探针台企业所占据,仅有3成的市场由台湾企业及国内的厂商占据,可以说比重较低。
探针台按照功能区分,分为常温探针台,高温探针台,高低温探针台,以及霍尔探针台还有其他定制型专用探针台等,而目前常温探针台,高温探针台无论是性能还是操作使用便捷性上,都已经足以媲美进口品牌,而高低温探针台液氮(77K)温区经过这几年的发展品质也足够稳定,至于超低温液氦(4K)温区还在需要更多的磨练与发展。值得注意的是不管处于哪个技术要求下的探针台,进口探针台的价格都要比国产探针台价格高出几倍,甚至几十倍之大。使的国产探针台有很大的发展空间,泰克光电近几年的探针台、芯片测试机、蓝膜编带机等产品技术已在国内领先,部分技术能与进口产品所抗衡,也得到了很多国内外客户认可和使用。
探针台需求10问 |
在探针台选择上,您要了解的10个注意事项
1、您需求的最大需要测几inch的晶圆或者器件?是否需要测试破片或者单颗芯片,最小的单颗芯片尺寸?
2、您需求的探针台机械精度要求多高?
3、您需求的点测样品的电极尺寸?100μm *100μm或60μm *60μm的pad,还是FIB制作的mini pad,或者ic内部的metal线路?
4、您需求的最多需要几个探针同时去点测?是否会用到探针卡测试?
5、您需求的光学显微镜的最小分辨率需要用到多少?
6、您需求的显微镜方面,是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测?
7、您需求的探针点测时,对电流的要求能否达到100fa或者以下?低电容要求能否要做到0.1pf?是否有射频需求?
8、您需求的测试环境时是否会需要加热或者降温? 是否需要密闭腔体?
9、您需求的探针台对chuck的漏电要求怎样?是否需要添加低阻抗chuck?
10、您是否需要防震桌?若添置防震桌,是否有压缩空气?
通过以上10问, 恭喜您,可以根据您的需求特点,定制或选择到合适您的最佳探针台产品解决方案了。泰克光电的探针台可以根据客户个性化要求,进行产品方案定制化服务。从而达到每款产品均是客户需求的性能最优、性价比最高,最适合的产品解决方案。
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