半自动探针台
作者：深圳市泰克光电科技有限公司
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发表时间：2021-05-05 10:06:37
探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
探针台分类
探针台从操作上来区分有：手动，半自动，全自动
从功能上来区分有：温控探针台，真空探针台（超低温探针台），RF探针台，LCD平板探针台，霍尔效应探针台，表面电阻率探针台
半自动型技术指标
1、载片台能通电机控制（可编程）实现X-Y-Z-Theta四个方向运动，平坦度<±12um；
2、载物台XY移动范围：310*310mm,移动分辨率：0.5um,移动精度：±2.5um,最大移动速度：>80mm/sec；
3、载物Z方向移动范围>5mm,移动分辨率：0.5um,移动精度：±2um,重复精度：±1um；
4、载物台Theta旋转范围：±5.0°，旋转分辨率：0.0001°,旋转精度<2.5um；
5、支持12英寸晶圆适用之CHUCK 盘，兼容4、6、8、12 inch Wafer及4mm x 4mm以上之单个DIE吸附；
