正装&垂直LED芯片、PD芯片测试机
- Prober&Tester整合一体机设计，具有业界领先的测试速度与精度；
- 日制高精密丝杆导轨，品质稳定，磨损少，机械刚性强，运行平稳；
- 机构尺寸优化缩小，提高厂房利用率；
- 电性测量&光测量整合测试，具有极高的静态精度与动态精度；
- 自主研发的实量称得式主动电极寻边器，能有效的控制好每次测试时探针与芯片电极之接触力度，保证针痕的一致性；
- 自主扫描与收光复合，可自动监拍测试时之对针情况与针痕情况，方便测试过程中对机器运行的监控；
- 适用于Max.6inch之常规正装芯片、垂直结构LED芯片；
- 配置多档滤光片，以适用于不同亮度之芯片测试要求。
- 产品参数
- Prober&Tester整合一体机设计，具有业界领先的测试速度与精度；
- 日制高精密丝杆导轨，品质稳定，磨损少，机械刚性强，运行平稳；
- 机构尺寸优化缩小，提高厂房利用率；
- 电性测量&光测量整合测试，具有极高的静态精度与动态精度；
- 自主研发的实量称得式主动电极寻边器，能有效的控制好每次测试时探针与芯片电极之接触力度，保证针痕的一致性；
- 自主扫描与收光复合，可自动监拍测试时之对针情况与针痕情况，方便测试过程中对机器运行的监控；
- 适用于Max.6inch之常规正装芯片、垂直结构LED芯片；
- 配置多档滤光片，以适用于不同亮度之芯片测试要求。
序号[No.] | 描述[Description] | 规格[Specifications] |
1 | X、Y、Z、θ 工作行程 | 440mm、220mm、130mm、±30° |
2 | X、Y、Z、θ 运动分辨率 | 0.5um、0.5um、0.5um、0.001° |
3 | X、Y、Z重复定位精度 | ≤5 um |
4 | X、Y垂直度 | ≤8um @ 150mm |
5 | 测试面平面度 | ≤5um |
6 | 芯片承载台适用 | 7寸扩晶环 |
7 | 扫描CCD | 130万像素、黑白相机1x镜头 |
8 | 相机视野 | 7mm x 5.5mm |
9 | 观察对针 | 显微镜，选配500万金相显微镜相机 |
10 | 最大支持颗粒数 | 100万颗 |
2 | 适用芯片尺寸范围 | 4mil ~ 100mil @ Pad尺寸≥30um |
3 | 针痕大小 | 针压1.5g，探针针尖≤5um情况下，针痕面积≤1/4 PAD @ PAD≥40um |
4 | 积分球尺寸 | 2寸 |
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