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深圳市泰克光电科技有限公司

  SHEN ZHEN TEC-PHO CO.,LTD.

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半自动探针台

作者:深圳市泰克光电科技有限公司 浏览: 发表时间:2021-05-05 10:06:37

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

探针台分类
探针台从操作上来区分有:手动,半自动,全自动

从功能上来区分有:温控探针台,真空探针台(超低温探针台),RF探针台,LCD平板探针台,霍尔效应探针台,表面电阻率探针台

半自动型技术指标

1、载片台能通电机控制(可编程)实现X-Y-Z-Theta四个方向运动,平坦度<±12um; 

2、载物台XY移动范围:310*310mm,移动分辨率:0.5um,移动精度:±2.5um,最大移动速度:>80mm/sec;

3、载物Z方向移动范围>5mm,移动分辨率:0.5um,移动精度:±2um,重复精度:±1um;

4、载物台Theta旋转范围:±5.0°,旋转分辨率:0.0001°,旋转精度<2.5um;

5、支持12英寸晶圆适用之CHUCK 盘,兼容4、6、8、12 inch Wafer及4mm x 4mm以上之单个DIE吸附;



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